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用于半导体封装的午夜免费黄色视频设备主要由哪些部分组成?

返回列表 来源:午夜视频免费在线观看 浏览: 发布日期:2018-10-29 16:44【
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2、等离子发生器:含电源和匹配器,提供反应气体放电能量来源,维持等离子体放电状态;有不同的频率区分。
 

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3、真空泵:抽取真空,保持真空度,抽走未电离的工艺气体和反应副产物;包括单级泵和泵组。
 

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4、真空计:监测真空腔体的真空度。


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5、流量计:测量反应气体的流量。

 

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6、反应气体:各种工艺气体,如Ar、H2N2O2CF4等,根据需要使用单一气体或者两种以上的混合气体。

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7、电气控制:含软件,保证设备运行、监测、数据采集和工艺参数设定等。


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